• <samp id="yk7cl"></samp>

  • <input id="yk7cl"></input>
    <center id="yk7cl"></center>

    <progress id="yk7cl"></progress>
    1. <input id="yk7cl"><s id="yk7cl"></s></input>

      億金電子有限公司

      [設置首頁][添加收藏][網站地圖]
      訂購熱線:0755-27876565
      聯系我們:電話: 0755-27876565手機: 189 2460 0166Q Q: 857950243立即咨詢郵箱: yijindz@163.com
      首頁技術支持技術資料 激光刻蝕會對石英晶振表面以及內部造成哪些影響?

      激光刻蝕會對石英晶振表面以及內部造成哪些影響?

      來源:http://yijindz.com 作者:億金電子 2018年03月19

      通過實驗,運用不同的工藝方法,對石英晶振進行頻率微調,以不同參數的激光產生不同的微調量和微調效果。通過拍攝SEM照片,來研究在不同的激光參數和條件下,激光對于石英晶振表面及內部的改變和損傷情況。共分五種情況對激光刻蝕損傷進行研究。

      1.直接刻蝕石英晶振片表面。

      2.以大電流刻蝕石英晶振表面銀電極層,使其產生肉眼可見的大面積刻蝕痕跡,至使頻率計無法讀出刻蝕后的頻率值。

      3.以適當的激光參數刻蝕石英晶振表面銀電極層,并無明顯的刻蝕痕跡,頻率微調量在50ppm,其他電性能參數改變量均小。

      4.以刻蝕圖形的方法對石英晶振表面銀電極層進行刻蝕,刻蝕圖形為銀電極層外層圓環,頻率微調量達l000pm。

      5.以刻蝕圖形的方法對石英晶振表面銀電極層進行刻蝕,刻蝕圖形為銀電極層半邊圓,頻率微調量達2300ppm。

      以下為石英晶振實驗結果分析

      1.直接刻蝕石英晶振片表面在電流為11A,激光頻率為10KHLz,Q脈沖寬度為10s的條件下,直接對石英晶振片進行環狀刻蝕??涛g示意圖如圖4.7所示。

      4.7直接對石英晶振片刻蝕示意圖

      圖中虛線所示為激光刻蝕的軌跡,可見激光全部作用在石英晶振片本身,而不是其表面的銀電極層上。經刻蝕,貼片晶振,石英晶振片的頻率從10.0268376MHz,上升為10.0268780MHz,頻率微調量為404pm。這樣做的目的,是為了觀察當激光直接作用于晶片本身的時候,會對晶片產生怎樣的影響。

      通過電鏡觀察,刻蝕后的石英晶振片斷面如圖4.8所示。

      4.8直接對石英晶振片刻蝕后晶片斷面圖

      從圖中可見,被激光刻蝕后的區域,石英片表面平整,形貌良好,并未對下面石英晶體產生損傷。部分晶體被激光刻蝕掉后由于大氣中分子的散射作用,重新落回到晶片表面,覆蓋在原晶片上。

      2.以大電流刻蝕貼片晶振,石英晶振表面銀電極層,使其產生肉眼可見的大面積刻蝕痕跡,至使頻率計無法讀出刻蝕后的頻率值。

      在電流為14A,激光頻率為10KHz,Q脈沖寬度為10ys的條件下,對石英晶振片表面銀電極層進行刻蝕??涛g圖形及示意圖分別如圖4.9、4.10所示。

      4.9用大電流對石英晶振片表面銀電極層刻蝕圖形

      4.10用大電流對石英晶振片表面銀電極層刻蝕示意圖

      14A的激光電流刻蝕下,晶片表面刻蝕區域的電極層被損壞,出現了肉眼可見的較大范圍內明顯剝落痕跡。至使頻率計無法讀出其諧振頻率,石英晶片停振。

      通過電鏡觀察,刻蝕后的英晶振片斷面如圖4.11所示。

      4.11用大電流對石英晶振片表面銀電極層刻蝕斷面圖

      如圖所示,圖中左半邊銀電極層清晰可見,均勻的覆蓋在石英表面。而右半邊銀電極層被激光刻蝕剝落,被剝落處銀電極層與貼片晶振,石英晶振混在一起,界線模糊。并且剝落已經損傷到石英晶振本身。損傷延伸至2000m深度。

      正在載入評論數據...

      發表評論:

      姓名:
      郵箱:
      正文:

      歡迎參與討論,請在這里發表您的看法、交流您的觀點。

      誠征下列地區 晶振 | 石英晶振 | 圓柱晶振 | 貼片晶振 | 陶瓷晶振 | 石英晶體諧振器 | 頻率元件 的合作伙伴:
      深圳市 廣州市 北京 上海 東莞 佛山 中山 順德 珠海 杭州 溫州 武漢 長沙 南京 大連 長春 西安 鄭州 澳門 沈陽 南寧 昆明 濟南 重慶 成都
      kf
      kf
      close
      kf 億金微信號
      久久中文精品无码中文字幕下载_亚洲成a人片在线观看无码变态_色戒在线观看_国产精品真实